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Kleindiek纳米探针台是基于SEM/FIB的材料，半导体器件的电学性能表征系统。纳米级微操纵器和相关的探针软硬件模块组合提供多功能的纳米探测的解决方案，用于半导体器件故障分析和稳定微弱电流的测量。
Kleindiek微纳米操纵仪是安装在扫描电子显微镜内用于实现微纳米材料/器件的操纵或是实现对于纳米材料/器件的电流测量及材料机械性能的测试（选配插件FMS-EM）。
微纳米操纵仪，在SEM电镜样品室内像一只或多只灵活的"手“。主要功能包括：
（1）在SEM电镜观察过程中样品的原位操纵，搬移等；
（2）在双束离子刻蚀系统中通过操纵仪和微镊子（选配插件MGS2-EM）提取双束系统制备的TEM薄片样品；
（3）通过选配EBIC放大器，对样品做EBIC/EBAC/RCI等成像，实现微纳米材料/器件的PN结观测，电阻变化定位，IC开路探测，失效分析等功能。
产品特点：
高精度定位：纳米探针台具有极高的空间定位精度，能够进行纳米级别的样品移动，适用于精细化操作。
多自由度控制：一般配有至少三个自由度的控制系统（X、Y、Z轴），可实现样品在三维空间内的精准定位与调节。
稳定性：采用高刚性材料和精密加工技术，确保了在实验过程中设备的稳定性，避免外部干扰对测量精度的影响。
兼容性强：可与多种显微镜系统兼容，提供适配不同类型探针的接口，方便进行各种类型的纳米尺度测量和操作。
低噪声设计：许多纳米探针台都具有低噪声设计，减少机械振动和电磁干扰，确保精确的数据采集。
2)纳米探针台:
http://www.aqueous-channel.com/ParentList-1591266.html
https://www.chem17.com/st368866/list_1591266.html
纳米探针台